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半導體潔凈車間注意事項

　　半導體組件空間單位都是以微米來計算的，所以微塵顆粒附著在制作半導體組件的晶圓上，很有可能影響到上面的精密導線布局的樣式，造成短路或斷路情況。因此所有半導體制程設備都必須放置在隔絕粉塵進入的密閉空間里，這就是半導體潔凈車間的來由。

　　下面給大家說說出入半導體潔凈車間需要注意的事項：

　　1.半導體潔凈車間內部要確保粉塵只出不進，因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環境，這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源輸入潔凈車間中。

　　2.為保持恒溫恒濕，大型空調設備須搭配前面的鼓風加壓系統使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。

　　3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此潔凈車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃細菌等在潔凈車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。

　　4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。

　　5.所有人或事物進出潔凈車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

　　6.半導體潔凈車間內水的使用只限用去離子水。一是防止水中粉粒污染晶圓，二是防止水中重金屬離子污染金氧半晶體管結構的帶電載子信道，影響半導體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑，在半導體工業的使用量非常驚人。

　　7.半導體潔凈車間用到的氣源，包括吹干晶圓和機臺空壓所需要的，都需要使用98%氮氣，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。